ترجمه مقاله بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی

ترجمه مقاله بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس-پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی

چکیده

مفهوم فوتوصوتیبرای اندازه­گیریغلظت گازبخوبی براساسمونتاژ ماکرومکانیکی اثبات شده است. با این­حال،فوتوصوت مبتنی بر میکروسیستممی­تواندازابعاد کوچک­تر و هزینهکم­تراستفاده کند، اما برای رقابت نیاز به میکروفون با وضوح بالادارد. در اینجا، توصیف مشخصاتدومیکروفونبا فرکانسکم اختصاصی ارائه می­شود. هر دومیکروفونبافرایندریخته­گری (ساخت)MPW یکسان ساختهشده­اند، اما ازگامپس­پردازشاضافی کهتهویه شیارهایباریک را از طریقغشاهایضخامتچندگانه کهحساسیتمیکروفونرا افزایش می­دهداستفاده شده است. نتایج اولیهحساسیت را نشان می­دهدکه برایسنسورهایگاز فوتوصوتی با وضوح بالا کافی است.

واژگان کلیدی

MEMS، سنسور گازی فوتوصوتی، توصیف مشخصات، میکروفون،MPW.

1. 1.     مقدمه

استفاده از سنسورهای گازی برای آگاهی از سطح غلظت آنالیتگاز (یعنی، انواع مورد نظر) با استفاده ازاثر فوتوصوتی شناخته شده است [1]. سیستم سنسور گازیفوتوصوتی (شکل 1)، هنگامیکه نورآنالیتگازی را تحریک می­کند، انرژینوریدامنهمنبع نورمدوله شدهرا به انرژیصوتیتبدیل می­کند